講演情報

[C-12-57]フリップチップ裏面電圧印加による集積回路特性変動の評価

◎△横田 脩平1、長谷川 陸宇1、弘原海 拓也1、門田 和樹1、坂本 純一2、川村 信一2、永田 真1,2 (1. 神戸大学、2. 産業技術総合研究所)

キーワード:

フリップチップ、裏面電圧印加、発光顕微鏡