[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

16:15 〜 16:30学術奨励賞候補対象

[C-3_C-4-41] 水晶基板上a-Si装荷型薄膜LN光変調器の電極構造の最適設計

◎三浦 和也¹、川原 啓輔¹、堀川 剛¹、Eissa Moataz¹、大礒 義孝¹、西山 伸彦^1,3、矢島 隆雅²、野中 健太朗² (1. 東京科学大学工学院電気電子系、2. 日本ガイシ株式会社、3. 東京科学大学次世代半導体エコシステム共創センター)

キーワード：

光変調器、薄膜ニオブ酸リチウム、スローウェーブ電極、水晶基板、電磁界解析

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