[CI-1] フォトニクスの新たな応用を切り拓く集積光変調デバイスの最前線

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[CI-1-04] 不揮発・可逆位相変調型窒化シリコン光干渉デバイス

〇前神 有里子¹、叢 光偉¹、高 磊¹、成島 利弘¹、土澤 泰¹、河島 整¹、山本 宗継¹、山田 浩治¹ (1. 産総研)

キーワード：

窒化シリコン、ダングリングボンド、不揮発性、マッハ・ツェンダー干渉計