講演情報
[R3P-01]透過型電子顕微鏡内その場圧縮観察による応力測定
*三宅 亮1、伊神 洋平1、松本 徹1、甕 聡子3、野村 龍一2 (1. 京都大・理、2. 京都大・白眉、3. 山形大・理)
キーワード：
電子顕微鏡、その場観察、ナノ変形実験
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透過型電子顕微鏡内で、変位または荷重をかけて、材料の圧縮試験や破壊実験が、材料科学の分野で多く行われている。しかし、これらの多くは、実験装置から得られる荷重と、試料の大きさ（面積）より、応力を計算していることがほとんどである。そこで、本研究では、電子回折図形から微小領域での応力を求めることを目的としておこなった。その結果、ダイヤモンド・ピラーを用いた荷重100 μNの圧縮実験では、約30 GPaの応力を得ることができた。
透過型電子顕微鏡内で、変位または荷重をかけて、材料の圧縮試験や破壊実験が、材料科学の分野で多く行われている。しかし、これらの多くは、実験装置から得られる荷重と、試料の大きさ（面積）より、応力を計算していることがほとんどである。そこで、本研究では、電子回折図形から微小領域での応力を求めることを目的としておこなった。その結果、ダイヤモンド・ピラーを用いた荷重100 μNの圧縮実験では、約30 GPaの応力を得ることができた。