講演情報
[437]無電解プロセスを利用したSiC基板上へのPd微粒子触媒の担持とNi-Pめっき膜の形成
*藤居 稜1、松本 歩2、福室 直樹2、八重 真治2 (1. 兵庫県立大工（院生）、2. 兵庫県立大工)
キーワード：
無電解置換析出、無電解Ni-Pめっき、光電気化学、シリコンカーバイド、パワーデバイス
次世代半導体材料としてSiCが注目されている．本研究では，無電解プロセスのみでSiC基板上に金属電極を形成することを目的とし，Pd微粒子の無電解置換析出およびこれを触媒とした無電解Ni-Pめっき膜の形成を試みた．