講演情報

[P151]Ni-Al融体表面を反応場とするAlNの結晶成長

*神原 新1、安達 正芳1、福山 博之1 (1. 東北大学 多元研)

キーワード:

結晶成長、窒化アルミニウム、Ni-Alフラックス

AlNはAlGaN系深紫外LEDの基板材料として最適である.しかしながら,安価なバルクAlN単結晶作製法は確立されていない.本研究ではNi-Alフラックスを用いたバルクAlN結晶の育成法の開発を行っている.