[P] 5.材料化学

[P128] Au超薄膜を用いたGe結晶化プロセスの検討

*田内 康太郎¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工業大学(学生)、2. 芝浦工業大学)

キーワード：

薄膜、半導体、結晶成長、トランジスタ

Ge上にAu超薄膜を成膜後、熱処理を行いGeを結晶化させた。Geの連続薄膜が得られトランジスタ特性を測定した結果、p-channel型の挙動を示した。この手法はMIC法より超薄膜デバイス作製の可能性が高いと推察される。