日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

2021年3月16日〜3月19日オンライン開催(Zoom利用)
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公益社団法人 日本金属学会
日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会

2021年3月16日〜3月19日オンライン開催(Zoom利用)

[P3]Au超薄膜を用いたGe薄膜の結晶化と電気特性

*木村 健二朗1、弓野 健太郎2(1. 芝浦工業大（院生）、2. 芝浦工業大)

キーワード：

Ge薄膜、結晶化

Si基板上のGe薄膜の上にAu薄膜を形成することで~15nm程度のGe超薄膜の作製を試みて, 作製した試料の表面を観察し, Ge超薄膜の電気特性を測定した.
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