[P] P1~P4

10:00 〜 11:30

[P3] Au超薄膜を用いたGe薄膜の結晶化と電気特性

*木村 健二朗¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工業大（院生）、2. 芝浦工業大)

キーワード：

Ge薄膜、結晶化

Si基板上のGe薄膜の上にAu薄膜を形成することで~15nm程度のGe超薄膜の作製を試みて, 作製した試料の表面を観察し, Ge超薄膜の電気特性を測定した.