講演情報

14:35 〜 14:50

[112]イオン衝撃によるSm-Fe薄膜の面内応力制御

*神谷柾人¹、片岡竜一²、内田貴大³、源馬龍太³、松村義人³ (1. 東海大(院生)、2. 東海大(学生)、3. 東海大)

Sm-Fe、イオン衝撃、面内応力、スパッタリング、薄膜

本研究では、マグネトロンスパッタリング法により作製されたSm-Fe薄膜の面内応力を入射するイオンの運動量の大きさからイオン衝撃パラメータPiを用いて評価を試み薄膜の面内応力を制御することが可能か検討した。