日本金属学会2022年春期(第170回)講演大会
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14:55 〜 15:10
[39]
レーザー照射中の金属及びシリコンの電気抵抗測定
*岩元 洋介
1
、若井 栄一
1
、中川 祐貴
2
、柴山 環樹
2
(1. 原子力機構、2. 北大)
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キーワード:
レーザー照射、電気抵抗測定、銅、アルミニウム、シリコン
パルスレーザー照射中における銅、アルミニウム、及びシリコンの電気抵抗を測定した結果、金属は照射量の増加に伴い、物質内部に形成される欠陥量の増加が推定された。一方、シリコンでは電気抵抗は減少した。
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