講演情報

[39]レーザー照射中の金属及びシリコンの電気抵抗測定

*岩元 洋介1、若井 栄一1、中川 祐貴2、柴山 環樹2 (1. 原子力機構、2. 北大)

キーワード:

レーザー照射、電気抵抗測定、銅、アルミニウム、シリコン

パルスレーザー照射中における銅、アルミニウム、及びシリコンの電気抵抗を測定した結果、金属は照射量の増加に伴い、物質内部に形成される欠陥量の増加が推定された。一方、シリコンでは電気抵抗は減少した。