講演情報
[242]Cr2Ge2Te6アモルファス薄膜の結晶化に伴う局所構造変化
*齊藤 雄太1、畑山 祥吾1、シュアン イ2、フォンス ポール1,3、コロボフ アレクサンダー1,4、須藤 祐司2,5 (1. 産総研デバイス技術、2. 東北大AIMR、3. 慶應大理工、4. ゲルツェン大、5. 東北大工)
キーワード：
アモルファス、結晶化、カルコゲナイド、局所構造、Cr2Ge2Te6
相変化メモリ材料として注目されるCr2Ge2Te6アモルファス薄膜の熱処理、結晶化に伴う局所構造変化を調査した。