[P147]Sm(Fe-Co)正方形ドット配列パターンの高保磁力化
*畑中 辰汰朗1、中塚 奏賀1、伊藤 慎梧1、土井 正晶1、嶋 敏之1(1. 東北学院大工)
キーワード:
α-Fe phase、Coercivity、Electron-beam lithography、Thin film、ThMn12-type structure
Sm(Fe0.8Co0.2)12系薄膜の保磁力向上のため、Smシード層を導入したSm(Fe0.8Co0.2)12薄膜を微細加工した。その結果、保磁力は減少したが角形比は向上した。
