講演情報

[P209]スパッタ法を用いたCantor合金薄膜の摩耗特性

*棚田 大輔1、宮嶋 陽司2、石川 和宏2 (1. 金沢大(院生)、2. 金沢大理工)

キーワード:

薄膜、金属薄膜、摩擦摩耗、レーザーアニーリング

スパッタリング装置を用いて作製したハイエントロピー合金のCantor合金薄膜に対して摩擦摩耗試験やレーザーアニーリングを利用することで摩擦特性等について解明した.