Presentation Information

[P209]Wear characteristics of Cantor alloy thin films using sputtering method

*Daisuke TANADA1, Yozi MIYAZIMA2, Kazuhiro ISHIKAWA2 (1. Kanazawa Univ., 2. Inst. of Kanazawa Univ.)

Keywords:

薄膜,金属薄膜,摩擦摩耗,レーザーアニーリング

スパッタリング装置を用いて作製したハイエントロピー合金のCantor合金薄膜に対して摩擦摩耗試験やレーザーアニーリングを利用することで摩擦特性等について解明した.