講演情報

10:00 〜 10:15

[299]スパッタリング法によるSi添加γ-Fe₂O₃薄膜の耐酸化性

*阿部世嗣¹ (1. 電磁研)

薄膜、鉄酸化物、耐酸化性、Si、無機材料

Si添加γ-Fe2O3薄膜の耐酸化性について検討を行った。その結果、Siを2.8at.%添加したFe3O4はγ-Fe2O3に相転移し、256日間の大気中熱処理において比較的良好な耐酸化性を発現する．