講演情報
[300]スパッタ法で成膜した結晶VO2薄膜の物性に及ぼす熱処理条件の影響
*杉浦 史生1、馬場 将亮1、篠原 維月1、畑山 祥吾2、齊藤 雄太2、内田 紀行2、武田 雅敏1 (1. 長岡技科大、2. 産総研)
キーワード：
金属絶縁体相転移、スパッタリング法、二酸化バナジウム
VO2は68℃付近で金属－絶縁体相転移を示す材料である．本研究では，スパッタ法で成膜したアモルファスVO2を熱処理によって結晶化させる．この熱処理条件が薄膜の物性に及ぼす影響を調査した．
金属絶縁体相転移、スパッタリング法、二酸化バナジウム