講演情報

[P38]窒化ガリウムおよび燐化ガリウムの転位挙動に及ぼす光環境効果

*木下 凌輔1、李 燕2、大栗 洋人1、栃木 栄太3、中村 篤智2 (1. 阪大基礎工(院生)、2. 阪大基礎工、3. 東大生研)

キーワード:

ナノインデンテーション、化合物半導体、転位、光、TEM

光インデンテーション法を用いて,GaN,GaP単結晶の転位挙動に及ぼす光環境効果を評価した.外部光環境は転位の生成にはほとんど影響を与えないが,運動には大きく影響を及ぼすことが確認された.