日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス
[P99]TM-Ge-Te系セレクタ材料薄膜におけるアモルファス相の耐熱性
*濱野 恵佑1,2、竹内 英輔1、畑山 祥吾2、齊藤 雄太3、フォンス ポール4(1. 慶大理工(院生）、2. 産総研、3. 東北大、4. 慶大理工)
キーワード：
相変化材料、アモルファス、遷移金属、OTS
次世代の不揮発性メモリとして注目される相変化メモリに使われるセレクタに関して、遷移金属添加により材料の耐熱性向上を目指す。