講演情報

[P147]安定的なSiC溶液成長を実現する緻密SiCライナーの作製

*網師本 宙1、川西 咲子1、長谷川 将克1、三谷 武志2、Chaussende Didier3、吉川 健4、柏谷 悦章1 (1. 京大エネ科、2. 産総研、3. CNRS-SIMaP、4. 阪大)

キーワード:

SiC、溶液成長法、SiCライナー、熱流体計算

本研究では安定的なSiC溶液成長法の実現に向けて、SiCライナーの作製を行った。またSiCライナーを用いた際の熱流動予測を行うため、熱流体シミュレーションを行った。