講演情報
[P42]斜入射反応性スパッタリング法により作製したTiO2薄膜の微細構造に対する酸素流量の影響
*陳 宇聡1、井上 泰志2、高井 治3 (1. 千葉工大院工、2. 千葉工大院工、3. 関東学院大材料・表面研)
キーワード：
TiO2薄膜、斜入射スパッタリング、微細構造、結晶性、酸素流量
成膜中の基板を加熱することで斜入射TiO2薄膜の部分的な離散的柱状構造化の向上ができたが、基板温度が高いことで結晶の離散性が低かった。Ti原子のマイグレーションを制御するために酸素分圧をパラメータとした。