[G] 力学特性の基礎

15:20 〜 15:35

[182] 透過電子顕微鏡法によるタンタルナノワイヤ変形のその場観察

○佐久間 主騎¹、大橋 瑞貴¹、津留 奏太¹、木塚 徳志² (1. 筑波大院、2. 筑波大)

キーワード：

その場観察、ナノワイヤ、透過電子顕微鏡、ナノ接点

本研究では，ナノチップ操作自由空間配線法によりTaナノワイヤを作製し，透過電子顕微鏡法を用いてナノワイヤの変形過程をその場観察した．同時に，変形時にTaナノワイヤに作用する荷重などの機械的特性を評価した．