[P] P272~P285　エネルギー関連材料

[P279] Pd/Y薄膜及びX/Pd/Y薄膜の水素センサー特性

○伊藤 萌恵¹、山口 明¹、橋本 明日香¹、三浦 愛彩¹ (1. 岩手大学)

キーワード：

水素センサー、薄膜、パラジウム、イットリウム

Ｐｄ／Ｙ、Ｘ／Ｐｄ／Ｙ薄膜について異なる水素濃度に晒した際の電気抵抗変化、０％、５０％の場合における各測定温度の電気抵抗変化を測定した結果、Ｐｄ／Ｙ薄膜にＡｕ、Ｐｔ層を成膜することで低濃度水素の検知速度向上が可能であること、雰囲気に水蒸気がある場合測定温度によって検知を阻害・促進することが分かった。