[P] P9~P23 電気・電子・光関連材料

[P21] FePt/BN/FePt多層薄膜の結晶構造と磁気特性

○相沢 星流¹ (1. 東北学院大学)

キーワード：

FePt、BN、グラニュラー薄膜

本研究では、FePt薄膜及びBN薄膜の各層の膜厚と成膜温度を変化させ、磁気特性と結晶構造の調査を行う。