講演情報

[310]反応性スパッタリング法により作製した炭素添加TiO2膜の可視光照射下における抗菌性に及ぼす後熱処理の影響

○沈 善用1、上田 恭介2、小笠原 康悦3、成島 尚之2 (1. 東北大工(院生)、2. 東北大工、3. 東北大加齢研)

キーワード:

反応性スパッタリング法、後熱処理、アナターゼ相、置換型炭素

スパッタ法により室温で成膜した非晶質炭素添加TiO2膜に後熱処理を施し、結晶性と可視光照射下における抗菌性の関係を調査した。600 ℃以上で結晶化が進み、置換型炭素を保持したアナターゼ単相TiO2膜は可視光下で抗菌性を示したことから、TiO2光触媒の可視光応答化には炭素添加に加え結晶性の向上が重要であることを明らかにした。

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