[P] P217~P230　材料化学

[P222] Ti-Nb系コンビネーションスクリーンを用いたプラズマ窒化に及ぼすガス圧の影響

○川瀬 拓也¹、星山 康洋²、丸岡 智樹³ (1. 関西大（院生）、2. 関西大、3. 京都市産業技術研究所)

キーワード：

表面改質処理、プラズマ窒化、窒素拡散層、Ti-Nb複合窒化物層、ステンレス鋼

当研究グループ考案のTi-Nb系コンビネーションスクリーンを用いてSUS304にプラズマ窒化処理を施し、Ti-Nb-N層と窒素拡散層の形成に及ぼす処理ガス圧の影響を評価した。