講演情報

[S7.13]SiO2中でのイオン注入Ag-Co粒子合成における注入イオンエネルギー効果

○堀 史説1、田中 龍太朗1、岩瀬 彰宏1、松井 利之1、吉岡 聰1、田口 富嗣2、山本 春也2 (1. 大阪公立大学、2. 量研機構高崎)

キーワード:

イオン注入、ナノ構造体、照射誘起材料

本講演では、同一SiO2固体内へのイオン注入により複合化合成に成功しているAgとCoイオン注入において、注入時のエネルギーの違いにより固体内に生成する粒子の状態や構造などの違いについて発表する。

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