[P] P152~P165　電気・電子・光関連材料

[P163] Cr₂CoAlエピタキシャル薄膜の構造と磁気・電気伝導特性

○岩倉 朝道¹、石川 瑞恵^1,2、松浦 昌志¹、手束先生 展規¹ (1. 東北大、2. 日大)

キーワード：

スピントロニクス、ホイスラー合金、Cr2CoAl、補償型フェリ磁性体、スパッタリング

マグネトロンスパッタリング法を用いて、熱酸化膜付きSi基板および単結晶MgO(100)基板上にCr₂CoAlを成膜した。構造や磁気・電気伝導特性を測定し、成膜パラメータが及ぼす影響を実験的に調査した。