[G] 計算科学

16:05 〜 16:20

[179] エレクトロマイグレーションにおける金属間化合物成長に関するフェーズフィールドモデルの構築

○加藤 光章¹ (1. 東芝)

キーワード：

エレクトロマイグレーション、金属間化合物、拡散、フェーズフィールド、シャープインターフェース

エレクトロマイグレーションにおける金属間化合物成長を再現するために、原子流束に基づくフェーズフィールドモデルを構築した。金属間化合物成長について実装したシャープインターフェースモデルおよび実験結果と比較し、一次元空間での妥当性を検証した。また、全自由エネルギー増加現象の再現可能性を示した。