原子スペクトル分析　4

13:15 〜 13:30

[3A2-101] トリプル四重極型ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量リン分析時のスペクトル干渉のメカニズムについて

○河野 利哉¹、M.B. シャバニー¹、橋本 侑宜² (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

キーワード：

ICP-MS、シリコン、極微量、リン