原子スペクトル分析　4

13:30 〜 13:45

[3A2-102] Triple Q-ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量ホウ素及びリン分析におけるブランクフリー前処理手法の開発

○モハマッド Ｂ．シャバニ¹、河野 利哉¹、橋本 侑宜² (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

キーワード：

Triple-Q-ICP-MS、シリコン、B 及び P