日本分析化学会第72年会
Past Programs
日本語
Help
Main Menu
General information
Announcements(0)
Timetable
Wed. Sep 13, 2023
Thu. Sep 14, 2023
Fri. Sep 15, 2023
Program
Sessions
Search presentations
Download PDF for print
Advanced Search
Top
Sessions
Session Details
Presentation Information
Presentation Information
1:30 PM - 1:45 PM JST
(4:30 AM - 4:45 AM UTC)
[3A2-102]
Triple Q-ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量ホウ素及びリン分析におけるブランクフリー前処理手法の開発
○モハマッド B.シャバニ
1
、河野 利哉
1
、橋本 侑宜
2
(1. 三菱マテリアル(株)、2. 高純度シリコン(株))
Download PDF
Keywords:
Triple-Q-ICP-MS,シリコン,B 及び P
Back to Session information