[16a-A31-1~11] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

9:00 〜 9:15

[16a-A31-1] AI支援によるカーボンナノチューブ・ナノカンチレバーの効率的な作製

〇田所 幸浩¹、舟山 啓太¹、河野 圭祐¹、三浦 篤¹、廣谷 潤²、大野 雄高²、田中 宏哉¹ (1.豊田中研、2.名大)

キーワード：

カーボンナノチューブ、AI支援、ナノデバイス

ランダムに配置されたカーボンナノチューブ（CNT）を人の手と目で探索し、1つ1つのCNTに対しデバイス化に必要なパターニングを作成するには膨大な時間と人工を要する。本研究では、Si基板上にランダムに配置されたCNTをスキャニングSEMで撮影し、画像認識と機械学習を合わせること で、デバイス化するのに好ましいＣＮＴの検出とパターニングに必要な座標を抽出した。さらに、抽出した座標からデバイスパターン作製に必要なＣＡ Ｄを生成するまでの一連の流れを自動化した。発表中では、上記作製手法の他、作製されたデバイス群の特性を測定した実験結果についても 統計学的観点から紹介する。