[16a-A36-1~5] Society 5.0を支えるサイバーフィジカルシステムの先端技術 - フィジカル空間を繋ぐ材料・デバイス・プロセス・回路・アプリケーション技術 -

12:00 〜 12:15

[16a-A36-5] 広域多次元多角的顕微分光解析によるナノ材料デバイスの電子状態解析

〇永村 直佳^1,2、後藤 陸^1,2、大石 健太^1,2 (1.物材機構、2.東京理科大)

キーワード：

分光計測、イメージング、オペランド解析

低次元ナノ材料を応用したデバイスの高性能化には、デバイス構造の表界面を評価できる高空間分解能の顕微分光が有用である。本研究では、広域・多次元・多角的な顕微分光計測を実現するために、機械学習を活用したスペクトルビッグデータの高速自動ピークフィッティングソフトの整備や、オペランド顕微ラマン・XPSの装置開発を進めてきた。講演では、層状化合物デバイスの電子状態評価の解析例について報告する。