[16a-C43-1~11] 7.1 X線技術

9:00 〜 9:15

[16a-C43-1] 250～550 eV領域において高回折効率と高spectral fluxを呈する軟X線平面結像型分光器用のAu/Niラミナー型回折格子の設計

〇小池 雅人^1,2,3、羽多野 忠²、ピロジコフ アレキサンダー¹、大上 裕紀⁴、村野 孝訓^5,3、垣尾 翼⁴、越谷 翔悟⁵、寺内 正己² (1.量研関西光量子研、2.東北大多元研、3.大阪公大院工、4.島津デバイス部、5.日本電子SA事業ユニット)

キーワード：

回折格子、軟X線、回折効率

C-K (277 eV)からO-K (524 eV) までの所謂水の窓領域における軟 X 線平面結像型球面回折格子分光器の検出限界と感度を向上させるために，ラミナー型回折格子の溝構造と表面物質としてAu/Ni二重層コートの場合の最適化を行った。回折効率の数値計算の結果、>400 eVの領域ではNiの膜厚により，Niバルク表面の場合に比べて回折効率が最大でO-Kで30%程度まで増加することがわった。