[16a-C43-1~11] 7.1 X線技術

10:45 〜 11:00

[16a-C43-7] ns時分割Ｘ線トポグラフィーの開発

〇米山 明男¹、石地 耕太朗¹、竹谷 敏²、八木 貴志²、兵藤 一行³、平野 馨一³、岸本 俊二³ (1.SAGA LS、2.産総研、3.高エネ研)

キーワード：

トポグラフィー、時分割、リニアアレイAPD検出器

高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所放射光施設 （KEK-PF）のBL-14Cに、Si-APDリニアアレイ検出器を利用した時間分解能2 nsのＸ線トポグラフィー計測系を構築した。加熱用パルスレーザーと組み合わせ、Silicon on Insulator（SOI）表面のシリコン層を対象として、レーザー照射によって生じた結晶の熱歪みの時分割トポグラフィー計測を試みた。