[16p-A21-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

16:15 〜 16:30

[16p-A21-12] エミッション顕微鏡を用いたUV-C LEDにおける中長期劣化の観察

〇本田 善央¹、古澤 優太¹、田中 敦之¹、塚本 涼子¹、宮崎 敦嗣²、坊山 晋也²、奥野 浩司²、斎藤 義樹²、嶋 紘平³、秩父 重英³、石黒 永孝⁴、竹内 哲也⁴、久志本 真希¹、天野 浩¹ (1.名大未来研、2.豊田合成、3.東北大多元研、4.名城大理工)

キーワード：

UV-C LED、エミッション顕微鏡、AlGaN

UV-C LEDには、初期の急峻な発光強度の劣化と、中長期のゆっくりした劣化モードが存在する。中長期劣化モードをエミッション顕微鏡により観察した。初期劣化時にはモフォロジーを反映した5 um程度の粒状の発光であったのに対して、中長期の通電後には30 um程度のよりサイズの大きな発光のムラが現れた。量子井戸やn-AlGaNの劣化は顕著でないことから、この劣化モードが、p電極やp-AlGaNの抵抗増大、局所的な閾値変化などを示唆している。