[16p-A31-1~20] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

17:00 〜 17:15

[16p-A31-13] TIM利用に向けたCNTフォレストのフィルム化

〇奥村 友貴¹、中野 貴之¹、井上 翼¹ (1.静岡大院工)

キーワード：

カーボンナノチューブ、熱界面材料(TIM)

本研究では実装を想定し、CNTフォレストによるシート状TIMの作製を行い、熱源、冷却源込みの系を模擬した熱抵抗評価を行った。Si基板上に熱CVD法でCNTフォレストを合成した。合成基板2枚でPVDC(10 μm)をサンドイッチし、高温加圧下で融着させることでTIMを作製した。CNT-TIMの熱抵抗は0.97 cm²K/Wと評価され、PVDC層は熱抵抗障壁になっていないことが確認された。