[16p-B2-1~15] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[16p-B2-14] SOI上InGaAsナノワイヤ縦型ゲートオールアラウンドトランジスタの作製

〇谷山 慶太¹、竹田 有輝¹、東 佑樹¹、鄭 子ヨウ¹、本久 順一¹、冨岡 克広¹ (1.北海道大)

キーワード：

ナノワイヤ、III-V、トランジスタ