講演情報
[16p-C301-13]六方晶(NH4)xWO3ナノワイヤの酸素アニールによる新奇な電子濃度制御技術
〇成田 雄紀1、豊島 遼1、内田 建1 (1.東大工)
キーワード：
酸化物半導体、ナノワイヤ
水熱合成六方晶(NH4)xWO3ナノワイヤを用いたガスセンサは，LSIに搭載するには抵抗値が低い問題を抱えている．NH4+挿入濃度の減少によりナノワイヤの電子濃度を下げる必要があるが，挿入濃度が低いと構造安定性を保つことが困難になるため低電子濃度を得られない可能性が懸念されていた．本研究では，適切な温度での酸素アニールによって，六方晶構造を維持しながら広範な電子濃度制御を行うことに初めて成功した．
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