講演情報
[16p-C31-14]層状三元系窒化物MgMoN2薄膜の固相合成
〇(M2)細川 紳1、相馬 拓人1、吉松 公平1、大友 明1 (1.東工大物質理工)
キーワード：
反応性固相エピタキシ、層状物質
三元系窒化物であるMgMoN2は，二次元2H-MoN2層の間にMgイオンが挿入された層状構造を持つことが知られている．本物質は組成制御の困難さから単結晶試料や薄膜合成が未だ実現されていない．我々は，新たな薄膜作製手法としてNH3気流下反応性固相エピタキシを開発し，MgMoN2の薄膜化を検討した．
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