[16p-C31-1~18] 6.4 薄膜新材料

17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[16p-C31-17] GZO/AZO積層構造熱線反射膜に関する研究

〇桑田 龍一¹、青木 孝憲¹、入江 満¹ (1.大阪産大院工)

キーワード：

熱線反射膜

本講演では、酸化亜鉛系材料(GZO：Ga添加ZnO、AZO：Al添加ZnO)を用いた熱線反射膜に関して発表を行う。これまでにGZO単層構造の熱線反射膜においての評価を行っており、膜厚を厚くすることにより赤外領域での反射率の向上が見られた。しかし、膜厚の上昇による可視領域での透過率の減少が問題となった。そこで、GZOより高い可視透過性能を持つAZOを積層させることで、透過率の改善を検討した。