[16p-C32-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

16:30 〜 16:45

[16p-C32-12] セレクタ向けTM-Ge-Te系アモルファスカルコゲナイドの耐熱性

〇濱野 恵佑^1,2、竹内 英輔¹、畑山 祥吾²、齊藤 雄太³、フォンス ポール¹ (1.慶應大理工、2.産総研、3.東北大工)

キーワード：

セレクタ