[16p-C32-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

14:00 〜 14:15

[16p-C32-4] パルスプラズマ法による微細ナノ粒子の生成について

〇森永 智¹、依田 眞一¹、大隅 壮太²、徳田 誠² (1.京石ナノ研、2.熊大工)

キーワード：

ナノ粒子

近年10nm以下の微細ナノ粒子を用いた量子ドットなどで実用化によりナノ粒子への需要が高まっている。ナノ粒子の生成は、ビルドダウン及びビルドアップ方式があるが微細ナノの生成では、後者が有利である。本稿では、これまでの研究で、矩形波によるプラズマ放電により非常に分布幅の均一なナノ粒子の生成を可能とし、ナノ粒子生成時の投入エネルギーを大きくすることで比表面積が大きくなることを明らかとした、今回の寄稿では、粒子径と周波数との関係性について詳細に調べ、投入エネルギーの視点から解析した結果を報告する。