[16p-C43-1~12] 1.5 計測技術・計測標準

15:15 〜 15:30

[16p-C43-10] 有機圧電体を用いた共振型圧力・加速度センサの開発

〇野田 祐樹¹、松原 州宏²、豊嶋 尚美¹、関谷 毅¹ (1.阪大 産研、2.山本電機製作所)

キーワード：

差圧、ゲージ圧、加速度

圧力センサや加速度センサは様々な産業分野でシステムの安全性や効率性を確保するために必要不可欠であり、小型化や低コスト化が期待される。本研究では圧電体の逆圧電効果と正圧電効果を利用した共振型センサを開発し、これを用いてゲージ圧と加速度を計測したので報告する。ゲージ圧は±2 kPaを500 Pa刻みで、加速度は10 Hz-1010 Hzを1 m/s²-10 m/s²の範囲で計測可能であった。