[16p-P02-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[16p-P02-11] 【No-Show】プラスチックの印刷品質向上に向けた異なる駆動周波数で生成した大気圧プラズマに関する研究

〇野沢 拓登¹、知久 颯馬¹、坂本 翔馬¹、山田 大将¹ (1.長野高専)

キーワード：

低温大気圧プラズマ

本研究では、プラズマ照射によるプラスチック材料の表面改質におけるメカニズムの解明を最終的な目的とし、複数ある生成条件の中で周波数に注目した。駆動周波数をkHz帯で変化させ、プラズマ特性と表面状態の関係について評価した。接触角は周波数に伴い変化した。特に、周波数が高いときに接触角が小さくなり表面処理効果が大きくなった。さらに、各パラメータの関係から周波数が接触角に間接的に影響を与えていることがわかった。