[16p-P05-1~27] 12.1 作製・構造制御

[16p-P05-18] 高分子スタンプ法によるPBTTTホモ接合トランジスタの作製と評価

〇(M1)中島 佑一¹、高山 和輝¹、野田 啓¹ (1.慶應大理)

キーワード：

プッシュコート法、PBTTT

液相プロセスで有機多層膜を連続成膜する場合、上層堆積時に用いる溶媒が下層有機膜を剥離・溶解する問題が生じる。我々は高分子スタンプを用いた半乾燥プロセスである、スタンプ法を用いてこの問題を解決しPBTTTホモ接合トランジスタを作製した。ゲート絶縁膜上に撥水性材料であるCytopを被覆することでゲートヒステリシスを抑えられることを確認した。