[16p-P05-1~27] 12.1 作製・構造制御

[16p-P05-6] 3元共重合構造をもつ誘電体ポリマーの薄膜構造と電気物性

〇沖田 裕介¹、日高 芳樹¹、岡部 弘高¹、木口 拓也²、疋田 育之²、石田 謙司¹ (1.九大院工、2.(株)デンソー)

キーワード：

P(VDF-TrFE-CFE)、薄膜、誘電率