[16p-P07-1~46] 1 応用物理学一般（ポスター）

[16p-P07-21] 超薄膜への非破壊可逆電気コンタクトプローブ

〇吉武 道子¹、小俣 香織^2,3、兼松 秀行² (1.物材機構、2.鈴鹿高専、3.山梨大)

キーワード：

電気的接触、非破壊、定接触面積

AFMにおいて非破壊測定とみなされている弾性変形領域の圧力を，AFMのような精密な制御無しに目視で調整できるプローブを開発・特許化した。電気的に接触している面積を一定に保つ必要がある電気容量測定などの測定用に、コンタクト圧を変化させても接触面積が保たれるプローブの開発について，レーザーリソグラフィーを用いた場合の最適条件の検討，接点となる金属を凸形状にする（でべそ型）プローブの開発を行った。