[17a-B1-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[17a-B1-3] 高感度Au錘1軸MEMS加速度センサにおける錘形状による反り抑制検討

〇(B)向出 千隼¹、Devi Srujana Tenneti¹、御宿 希祐¹、山田 虎人¹、町田 克之¹、栗岡 智行¹、Tso-Fu Mark Chang¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：

MEMS加速度センサ、高感度化、Au錘

本論文は高感度Au錘1軸MEMS加速度センサのプロセスアニールによる錘の反り抑制方法を述べている。反り抑制方法として錘形状と厚さに着目し、特に、従来の十字錘から８角形錘を提案した。シミュレーションにより8角形錘により厚さを増やすより反り抑制を確認した。8角形Au錘1軸MEMS加速度センサを試作し、反りの抑制、およびブラウニアンノイズは目標1μg/√Hz以下の0.179μg/√Hzを確認した。