[17a-B1-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[17a-B1-4] マイクロgレベル検出のためのAu錘１軸MEMS加速度センサにおける錘の穴サイズがブラウニアンノイズB_Nに及ぼす影響

〇(B)山田 虎人¹、御宿 希祐¹、Tenneti Devi Srujana¹、向出 千隼¹、町田 克之¹、Chang Tso-Fu Mark¹、栗岡 智行¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：

MEMS加速度センサ、ブラウニアンノイズ、ホールサイズ

本論文はAu錘1軸 MEMS加速度センサの錘ホールと高感度決定要因であるブラウニアンノイズB_Nとの関係を述べている。従来、ホールとデバイス性能との関係を報告した例がなく、当グループで提案した減衰係数モデルによりその関係を初めて検討した。その結果、B_Nのホールサイズ依存性を明確化した。その妥当性検証のためデバイス設計･試作した。測定により、B_Nが目標1.0µg/√Hz以下の0.3µg/√Hzを得た。